1 |
CN103681479B |
提高多层布线通孔光刻工艺容宽的方法 |
2017.02.08 |
本发明涉及一种提高多层布线通孔光刻工艺容宽的方法,其特征是,包括以下工艺步骤:(1)根据圆片上高、低 |
2 |
CN103681242B |
硅基片厚金属刻蚀的前处理工艺 |
2017.01.18 |
本发明涉及一种硅基片厚金属刻蚀的前处理工艺,其特征是,采用以下工艺步骤:(1)在硅基片表面溅射生长4 |
3 |
CN205692679U |
片上螺旋变压器器件结构 |
2016.11.16 |
本实用新型提供一种片上螺旋变压器器件结构,所述器件由若干个器件单元体并联而成,其特征在于:所述器件单 |
4 |
CN103700648B |
用于高温电路的金属互连结构及制备方法 |
2016.09.07 |
本发明涉及一种用于高温电路的金属互连结构及制备方法,其包括衬底及、场氧层、多晶硅栅结构、有绝缘介质层 |
5 |
CN105869827A |
一种包含有金属、聚酰亚胺及阻挡层结构的器件单元体及制作方法 |
2016.08.17 |
本发明提供一种包含有金属、聚酰亚胺及阻挡层结构的器件单元体及制作方法,所述器件单元体包括衬底、绝缘氧 |
6 |
CN103681243B |
用于改善SOI衬底表面损伤的方法 |
2016.06.15 |
本发明涉及一种用于改善SOI衬底表面损伤的方法,其特征是,包括以下工艺步骤:(1)在SOI衬底上表面 |
7 |
CN103681899B |
提高感光密度的光敏器件及其制造方法 |
2016.05.04 |
本发明涉及一种提高感光密度的光敏器件及其制造方法,其特征是,包括以下工艺步骤:(1)提供衬底,在衬底 |
8 |
CN102496566B |
用于SONOS存储芯片批产工艺中的存储管多晶刻蚀方法 |
2014.08.06 |
本发明涉及一种用于SONOS存储芯片批产工艺中的存储管多晶刻蚀方法,其包括如下步骤:a、提供衬底,形 |
9 |
CN103700586A |
提高背面注入杂质激活率的方法 |
2014.04.02 |
本发明涉及一种提高背面注入杂质激活率的方法,其特征是,包括以下步骤:(1)将芯片放入常规快速热处理设 |
10 |
CN103700648A |
用于高温电路的金属互连结构及制备方法 |
2014.04.02 |
本发明涉及一种用于高温电路的金属互连结构及制备方法,其包括衬底及、场氧层、多晶硅栅结构、有绝缘介质层 |
11 |
CN103681288A |
高可靠性的低温栅氧化层生长工艺 |
2014.03.26 |
本发明涉及一种高可靠性的低温栅氧化层生长工艺,其特征是,包括以下工艺步骤:(1)提供表面洁净的圆片, |
12 |
CN103681899A |
提高感光密度的光敏器件及其制造方法 |
2014.03.26 |
本发明涉及一种提高感光密度的光敏器件及其制造方法,其特征是,包括以下工艺步骤:(1)提供衬底,在衬底 |
13 |
CN103681881A |
高可靠可堆叠高速SOI二极管 |
2014.03.26 |
本发明涉及一种高可靠可堆叠高速SOI二极管,包括SOI基底;其特征是:在所述SOI基底上部Si层设置 |
14 |
CN103681243A |
用于改善SOI衬底表面损伤的方法 |
2014.03.26 |
本发明涉及一种用于改善SOI衬底表面损伤的方法,其特征是,包括以下工艺步骤:(1)在SOI衬底上表面 |
15 |
CN103681242A |
硅基片厚金属刻蚀的前处理工艺 |
2014.03.26 |
本发明涉及一种硅基片厚金属刻蚀的前处理工艺,其特征是,采用以下工艺步骤:(1)在硅基片表面溅射生长4 |
16 |
CN103681241A |
可改善氧化层质量的清洗方法 |
2014.03.26 |
本发明涉及一种可改善氧化层质量的清洗方法,其特征是,包括以下工艺步骤:(1)将氧化层生长工艺前的硅片 |
17 |
CN103681479A |
提高多层布线通孔光刻工艺容宽的方法 |
2014.03.26 |
本发明涉及一种提高多层布线通孔光刻工艺容宽的方法,其特征是,包括以下工艺步骤:(1)根据圆片上高、低 |
18 |
CN102403210B |
预非晶化注入的高温Ti自对准硅化物工艺 |
2013.07.31 |
本发明涉及一种预非晶化注入的高温Ti自对准硅化物工艺,其包括如下步骤:a、提供衬底,并在衬底上形成栅 |
19 |
CN102403200B |
I线光刻机用双次光刻法实现0.18μm线宽图形的方法 |
2013.06.26 |
本发明涉及一种I线光刻机用双次光刻法实现0.18μm线宽图形的方法,其包括如下步骤:a、第一次光刻: |
20 |
CN102253601B |
提高7350光刻胶热稳定性的方法 |
2013.04.24 |
本发明涉及一种提高7350光刻胶热稳定性的方法,其包括如下步骤:a、第一次UV坚膜:将带有7350光 |
21 |
CN102260860B |
一种SONOS结构中氮化硅的生长工艺 |
2013.04.24 |
本发明涉及一种SONOS结构中氮化硅的生长工艺,其包括如下步骤:a、提供圆片,并放入LPCVD炉管内 |
22 |
CN102097299B |
厚多晶电阻的饱和掺杂工艺 |
2012.11.07 |
本发明涉及一种厚多晶电阻的饱和掺杂工艺,其包括如下步骤:a、提供衬底,衬底上设置有相应氧化物结构;b |
23 |
CN102097312B |
一种ONO电容结构的生长工艺 |
2012.08.29 |
本发明涉及一种ONO电容结构的生长工艺,包括如下步骤:a、提供半导体基板;b、在半导体基板上,通过干 |
24 |
CN102097311B |
一种平坦化方法 |
2012.08.29 |
本发明涉及一种平坦化方法,其包括如下步骤:a、提供衬底,衬底上设置底层金属连线;b、淀积绝缘介质层; |
25 |
CN102140645B |
一种硅片激光打标后的清洗工艺 |
2012.07.11 |
本发明涉及一种硅片激光打标后的清洗工艺,其包括如下步骤:a、将激光打标后的硅片放置在所由HF溶液和水 |
26 |
CN102097303B |
一种用于厚金属的光刻工艺 |
2012.06.20 |
本发明涉及一种用于厚金属的光刻工艺,其包括如下步骤:a、在衬底上多次均匀淀积金属材料,使在衬底上形成 |
27 |
CN102496566A |
用于SONOS存储芯片批产工艺中的存储管多晶刻蚀方法 |
2012.06.13 |
本发明涉及一种用于SONOS存储芯片批产工艺中的存储管多晶刻蚀方法,其包括如下步骤:a、提供衬底,形 |
28 |
CN102110593B |
一种提高多晶硅薄膜电阻稳定性的方法 |
2012.05.09 |
本发明涉及一种提高多晶硅薄膜电阻稳定性的方法,其包括如下步骤:a、在多晶硅淀积舟的插槽内间隔安装假片 |
29 |
CN102403210A |
预非晶化注入的高温Ti自对准硅化物工艺 |
2012.04.04 |
本发明涉及一种预非晶化注入的高温Ti自对准硅化物工艺,其包括如下步骤:a、提供衬底,并在衬底上形成栅 |
30 |
CN102403200A |
I线光刻机用双次光刻法实现0.18μm线宽图形的方法 |
2012.04.04 |
本发明涉及一种I线光刻机用双次光刻法实现0.18μm线宽图形的方法,其包括如下步骤:a、第一次光刻: |
31 |
CN101887883B |
一种MTM反熔丝单元结构及其制备方法 |
2011.12.07 |
本发明涉及一种MTM反熔丝单元结构及其制备方法,其包括衬底及位于衬底上的绝缘支撑层;所述绝缘支撑层上 |
32 |
CN102270578A |
掺杂衬底上的超薄SiO<sub>2</sub>生长工艺 |
2011.12.07 |
本发明涉及一种掺杂衬底上的超薄SiO2生长工艺,其包括如下步骤:a、提供需要生长超薄SiO2层的半导 |
33 |
CN102260860A |
一种SONOS结构中氮化硅的生长工艺 |
2011.11.30 |
本发明涉及一种SONOS结构中氮化硅的生长工艺,其包括如下步骤:a、提供圆片,并放入LPCVD炉管内 |
34 |
CN102254941A |
多晶发射极三极管结构及其制备工艺 |
2011.11.23 |
本发明涉及一种多晶发射极三极管结构及其制备工艺,其在半导体三极管的截面上,第一导电类型外延层内的上部 |
35 |
CN102253601A |
提高7350光刻胶热稳定性的方法 |
2011.11.23 |
本发明涉及一种提高7350光刻胶热稳定性的方法,其包括如下步骤:a、第一次UV坚膜:将带有7350光 |
36 |
CN101740569B |
一种基于SOI基底的反熔丝单元结构及制备工艺 |
2011.11.09 |
本发明涉及一种基于SOI基底的反熔丝单元结构及制备工艺,其包括体硅衬底及位于体硅衬底上的二氧化硅埋层 |
37 |
CN101740428B |
用于铜丝键合的金属压焊块厚铝工艺 |
2011.09.07 |
本发明涉及一种集成电路的生产方法,具体地说是一种用于铜丝键合的金属压焊块厚铝工艺,本发明可以解决芯片 |
38 |
CN102140645A |
一种硅片激光打标后的清洗工艺 |
2011.08.03 |
本发明涉及一种硅片激光打标后的清洗工艺,其包括如下步骤:a、将激光打标后的硅片放置在所由HF溶液和水 |
39 |
CN102110593A |
一种提高多晶硅薄膜电阻稳定性的方法 |
2011.06.29 |
本发明涉及一种提高多晶硅薄膜电阻稳定性的方法,其包括如下步骤:a、在多晶硅淀积舟的插槽内间隔安装假片 |
40 |
CN102104017A |
一种CMOS有源区隔离工艺 |
2011.06.22 |
本发明涉及一种CMOS有源区隔离工艺,其包括如下步骤:a、提供第一导电类型衬底,并形成第二导电类型阱 |
41 |
CN102097299A |
厚多晶电阻的饱和掺杂工艺 |
2011.06.15 |
本发明涉及一种厚多晶电阻的饱和掺杂工艺,其包括如下步骤:a、提供衬底,衬底上设置有相应氧化物结构;b |
42 |
CN102097312A |
一种ONO电容结构的生长工艺 |
2011.06.15 |
本发明涉及一种ONO电容结构的生长工艺,包括如下步骤:a、提供半导体基板;b、在半导体基板上,通过干 |
43 |
CN102097311A |
一种平坦化方法 |
2011.06.15 |
本发明涉及一种平坦化方法,其包括如下步骤:a、提供衬底,衬底上设置底层金属连线;b、淀积绝缘介质层; |
44 |
CN102097303A |
一种用于厚金属的光刻工艺 |
2011.06.15 |
本发明涉及一种用于厚金属的光刻工艺,其包括如下步骤:a、在衬底上多次均匀淀积金属材料,使在衬底上形成 |
45 |
CN102082112A |
深硅隔离槽形成方法 |
2011.06.01 |
本发明涉及一种5μm深硅隔离槽形成方法,其包括如下步骤:a、提供衬底及位于衬底上的掩蔽层;b、在所述 |
46 |
CN101887883A |
一种MTM反熔丝单元结构及其制备方法 |
2010.11.17 |
本发明涉及一种MTM反熔丝单元结构及其制备方法,其包括衬底及位于衬底上的绝缘支撑层;所述绝缘支撑层上 |
47 |
CN101826451A |
一种超薄氧化层生长前清洗工艺 |
2010.09.08 |
本发明涉及一种清洗工艺,尤其是一种超薄氧化层生长前清洗工艺。所述工艺包括如下步骤:(a)将硅片放置在 |
48 |
CN101740569A |
一种基于SOI基底的反熔丝单元结构及制备工艺 |
2010.06.16 |
本发明涉及一种基于SOI基底的反熔丝单元结构及制备工艺,其包括体硅衬底及位于体硅衬底上的二氧化硅埋层 |
49 |
CN101740491A |
一种用于厚铝制程的金属熔丝电阻减薄工艺 |
2010.06.16 |
本发明涉及一种用于厚铝制程的金属熔丝电阻减薄工艺。所述工艺包括步骤一、通过注入和推结在硅片内形成阱区 |
50 |
CN101740428A |
用于铜丝键合的金属压焊块厚铝工艺 |
2010.06.16 |
本发明涉及一种本发明涉及集成电路的生产方法,具体地说是一种用于铜丝键合的金属压焊块厚铝工艺,本发明可 |